真空蒸发硫化法制备硫化锌薄膜的研究

摘要

介绍了硫化锌薄膜的应用和研究现状,阐述了硫化锌薄膜的生长过程理论及其结构,对于硫化锌常用的制备技术也作了较详细的介绍。针对TYZ76.00(YL)型真空镀膜机进行了不同实验设计,尝试探索出在实验室条件下真空蒸发硫化制备硫化锌薄膜的可行方法。通过XRD检测薄膜的结构和物相,金相显微镜观察薄膜的微结构,四探针法测量其电阻。