化学水浴沉积法制备硫化锌薄膜研究进展

摘要

硫化锌薄膜是重要的半导体光电材料.分析了化学水浴沉积法制备硫化锌薄膜的原理与机制,重点阐述了制备过程的影响因素及工艺的优化.简要介绍了采用该工艺制备的硫化锌薄膜在Cu(In,Ga)se2薄膜太阳电池方面的应用.最后指出硫化锌薄膜作为一种性能优良、制备成本低廉、对环境友好的功能薄膜材料具有良好的应用前景.