大量程高精度非球面光学元件检测平台设计

摘要

针对目前高精度，大量程的非球面检测需求，综合考虑各部件对平台精度的影响，完成了对平台的机械系统，探测系统和运动控制系统的设计．该非球面光学元件检测平台采用花岗岩框架结构，以增加整体结构的刚度，减小自身热变形引起的几何误差．系统的探测系统采用了接触／非接触式双重测量的检测方法，既提高了测量的速度，又增加了测量数据的可靠性．运动控制系统则采用运动控制卡＋伺服电机的三轴联动的开放式运动控制方式，满足了高精度非球面光学元件的检测需要．