一种大口径非球面光学元件精密检测平台Z轴配重装置

摘要

一种大口径非球面光学元件精密检测平台Z轴配重装置，涉及三坐标测量机。设连接支板、导轨、滑块、Z轴运动组件、测头、拉线、测量组件、凹形滑轨、配重组件及控制电路；导轨设于连接支板左侧，Z轴运动组件与滑块连接，测头设于Z轴运动组件上，Z轴运动组件与测量组件下端之间经第一拉线连接，测量组件位于连接支板左侧，测量组件设壳体、传感器压力件和压电传感器，凹形滑轨设于连接支板上端，配重组件设磁流变液容器、磁流变液和质量块，磁流变液容器置于连接支板右侧，磁流变液盛于磁流变液容器内，质量块浸入磁流变液中，质量块上端经第二拉线与测量组件的壳体上端连接，第二拉线与凹形滑轨滑动配合，控制电路设信号转换装置和电极。