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陈永生; 汪建华;
武汉化工学院等离子体化学与新材料重点实验室,湖北武汉,430073;
电子回旋共振; 刻蚀; 多晶硅;
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机译:刻蚀气体对纳米尺寸图形多晶硅薄膜高密度等离子体刻蚀的影响
机译:通过ECR等离子体刻蚀开发聚酰亚胺涂层的织构
机译:硅/硅锗化物异质结构的各向异性碳氟化合物等离子体刻蚀和等离子体刻蚀引起的侧壁损伤
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机译:多晶硅高密度等离子体刻蚀过程中的特征轮廓演变
机译:InGaalp复合半导体系统的电感耦合等离子体和电子回旋共振等离子体刻蚀;固态和材料科学
机译:电子回旋共振(ECR)等离子体刻蚀过程和ECR等离子体刻蚀装置
机译:在等离子体刻蚀系统上刻蚀多晶硅层的方法
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