影响燃烧法合成金刚石薄膜的参数

摘要

制备金刚石薄膜的方法很多。本文主要介绍了影响燃烧法合成过程的主要因素及其对膜的质量的影响。研究表明，基板温度、氧／乙炔配比、基板至内焰距离等对合成的影响很大。