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工艺参数对火焰法合成金刚石薄膜的影响

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用燃烧O_2/C_2H_2火焰法在大气条件下合成了金刚石薄膜,对合成的金刚石薄膜进行了扫描电镜和喇曼光谱分析初步研究了不同的沉积方式、衬底温度和O_2/C_2H_2流量比等因素对金刚石薄膜生长特性的影响.

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来源
《新型炭材料》 |1992年第4期|31-34|共4页
作者
张贵锋; 郑修麟;
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作者单位

不详;

不详;

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正文语种 chi
中图分类 TN304.18;
关键词
金刚石; 薄膜; 火焰光度法; 合成;

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