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火焰法合成金刚石薄膜的研究

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用火焰法在大气下合成了金刚石薄膜,探讨了基板表面性质及基板温度对金刚石晶体生长的影响,结果显示抛光表面及800℃合成金刚石薄膜较佳.

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来源
《武汉工程大学学报》 |2003年第3期|9-11|共3页
作者
刘建华; 陈赛军;
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作者单位

湖南省地质矿产局四一八队,湖南,娄底,417000;

湖南省地质矿产局四一八队,湖南,娄底,417000;

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正文语种 chi
中图分类碳族;
关键词
火焰法; 金刚石薄膜; 基板; 孪晶;

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