考虑尺度效应的微振动能量采集器建模

摘要

考虑尺度效应[1],引入等效杨氏模量以便于对微压电悬臂梁进行有限元建模.搭建了振动特性实验平台,验证了考虑尺度效应的微梁动力学模型准确有效.在此基础上完善了微振动能量采集器的动力学模型,设计并制备了T型Si悬臂梁振动能量采集器.通过实验测试得到采集器的谐振频率、尖端位移和输出电压,与有限元分析结果相比较,改进模型比宏观模型的误差降低了13％,35％和22％.