面向机器人触觉的柔性压力传感器

摘要

机器人触觉传感器需要同时满足对受力大小进行精确感知以及对作用位置进行精准定位.该文采用等离子体原位极化工艺,在柔性电路板上制备了PVDF-TrFE压电薄膜.在PVDF-TrFE薄膜的制备中,以少量羟基磷灰石掺杂提高了PVDF的结晶性能,有利于β晶型的转化,进而提高了PVDF的压电系数,提升了PVDF对力的电学响应精度,从而提高了感知器件灵敏度.采用柔性PCB电路板制备柔性PVDF压电传感器,不仅可以对力的大小实现三维传感,而且能够对作用力的位置进行定位,从而可以应用于机器人触觉传感.