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陈硕; 尤政;
清华大学精密仪器系;
精密测试技术及仪器国家重点实验室;
北京100084;
声表面波谐振器; 氮化铝; 碳化硅; 应变响应;
机译:基于(002)AlN / Pt /金刚石/硅层状结构的声表面波谐振器
机译:基于声表面波在多晶AlN薄膜上生长的掺Ga氧化锌薄膜的湿度传感特性
机译:集成有金属结构的AlN薄膜声表面波谐振器
机译:AlN / 3C-SiC / Si复合结构中的声表面波传播特性
机译:SiC和AlN表面和界面的电子特性。
机译:AlN和SIO2 / LiNbO3膜作为基于声表面波加速度测量的敏感元素的比较:克服了各向异性的影响
机译:基于alN金属结构的声表面波器件特性
机译:声表面波谐振器的分析与建模。
机译:抑制直接耦合响应的声表面波谐振器
机译:具有三个转换器和一个或两个切趾转换器的声表面波纳米阵列,具有最小相位和最大相位脉冲响应特性。
机译:基于编码声表面波的应变传感器
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