基于纵漏表面波的高频声表面波谐振器研究

摘要

移动通信网络的发展使得声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)滤波需要更高的频率和更大的带宽。更高的频率使得传统瑞利波(Rayleigh SAW,RSAW)器件需要更小尺寸,带来制造技术的难题。因此,采用更高波速的纵漏表面波(Longitudinal Leaky SAW,LLSAW)进行高频SAW滤波器的设计。实验表明,相同条件下,LLSAW模式获得达RSAW模式1.8倍的频率,同时也有更高的带宽。还研究了改变质量负载的电极金属化率与厚度对器件工作频率和带宽的影响,结果表明电极金属化率和厚度的增加会降低中心频率,但金属化率过小也会使中心频率下降。同时带宽会受金属化率的影响,而几乎不随电极厚度变化。