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机译:基于声表面波在多晶AlN薄膜上生长的掺Ga氧化锌薄膜的湿度传感特性
School of Electrical Engineering, University of Ulsan. San 29, Mugeodong, Namgu, Ulsan 680-749, South Korea;
School of Electrical Engineering, University of Ulsan. San 29, Mugeodong, Namgu, Ulsan 680-749, South Korea;
humidity sensor; SAW; ga-doped ZnO; ain thin film; sol-gel;
机译:在多晶3C-SiC缓冲层上生长的AlN薄膜的表面声波特性
机译:基于涂有溶胶-凝胶法得到的纳米晶氧化锌膜的多晶AlN薄膜的声表面波湿度传感器
机译:基于在多晶3C-SiC缓冲层上生长的ZnO薄膜的表面声波UV传感器的制备和特性
机译:基于表面声波雾化器沉积的氧化石墨烯薄膜的表面声波湿度传感器
机译:使用氧化锌和氧化锡薄膜的高温无线表面声波气体传感器。
机译:基于由表面张力形成的均匀且可控制厚度的氧化石墨烯薄膜的声表面波湿度传感器
机译:基于石墨烯的全透明薄膜表面声波装置,用于感测和芯片上的应用
机译:微波声学器件射频溅射氧化锌薄膜的性能。