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李勇; 李玉和; 李庆祥; 訾艳阳;
清华大学精密仪器与机械学系,北京100084;
非平行梳状驱动器; 静电力; 计算方法; 边缘效应; 有限元方法; 静电学; 微机械;
机译:带双倾斜梳状指和平行四边形梁的MEMS继电器/开关的静电梳状驱动执行器
机译:用于MEMS应用的非平行电极中静电力计算的数值模型
机译:手指宽度和纵横比对MEMS梳状驱动器静电悬浮力影响的计算研究
机译:一种基于梳状频谱的PC控制的非增量距离计与频率调制的连续波干涉仪相结合
机译:带有新型静电角垂直梳状驱动器的MEMS扫描微镜。
机译:具有生物医学应用的旋转静电梳状驱动器的新型MEMS微型夹具的设计
机译:通过主动控制梳状驱动器的微力传感器
机译:用于垂直驱动的静电梳状驱动器。
机译:带梳状驱动器的二维MEMS摩擦计
机译:具有非平行齿的梳状过滤器特性的彩色过滤器对
机译:具有非平行齿的梳状特征的彩色过滤器对
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