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光刻机镜头的结构设计与装配

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摘要

介绍工作波长为193 nm的投影光刻物镜的研制,对结构型式的确定和材料的选择以及加工装配工艺进行充分考虑,提出投影光刻物镜结构设计和装配方法.本文研制的镜头在光刻机中获得了广泛应用.

著录项

来源
《天津理工大学学报》 |2004年第1期|24-27|共4页
作者
李连进;
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作者单位

天津理工学院,机械工程学院,天津,300191;

天津钢管有限责任公司,天津,300301;

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正文语种 chi
中图分类设计;
关键词
193 nm激光; 光刻; 光刻物镜;

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