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黄燕; 朱晓焱;
苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;
硅; 双聚体空位; 沉积; 扩散; 经验紧束缚近似;
机译:光照对单晶硅表面钝化的影响,该单晶硅表面被沉积有等离子体增强化学气相沉积SiN_x的原子层沉积Al_2O_3钝化
机译:非极性ZnO(10(1)over-bar0)表面上单原子和双原子空位的密度泛函理论研究
机译:c-C_5H_8在Ge(001)-2×1和表面二聚体空位上的吸附的理论研究:电子结构和键合
机译:通过在临界温度附近的Si(100)2×1表面上的单二聚体空位引起的弯曲二聚体振荡
机译:在硅表面上的氧化锶膜的金属有机化学气相沉积和原子层沉积。
机译:利用远程等离子体原子层沉积系统沉积的HfO2薄膜对硅进行表面钝化
机译:金刚石(001)表面硅空位色中心的能量稳定性和几何形状的理论研究
机译:si(100)表面上的二聚体空位和二聚体空位复合物
机译:纳米结构例如用于纳米电子领域的硅纳米结构具有覆盖结构例如银的银沉积物。硅原子线,并覆盖碳化硅表面的硅原子和在表面形成的硅线
机译:在基板上产生隔离薄膜的过程包括基板上硅原子层的原子沉积,基板上硅原子层上的氧原子层和基板上金属原子层的原子沉积,金属原子层上的氧原子层的原子沉积。
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