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吴勇; 吴孟强; 蒋松涛; 钟朝位; 张树人;
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
FBAR; 谐振器; 振荡器; 滤波器; 双工器;
机译:脉冲激光沉积ZnO薄膜的扫描力显微镜和电子显微镜研究:在体声波(BAW)器件中的应用
机译:有助于制造基于氧化锌的薄膜体声波器件的技术。
机译:控制薄膜体声波谐振器中耦合的压电系数,器件的下部
机译:优选通过这样的方法来应用在有机封装膜弹性体器件上沉积薄膜的方法以及具有薄膜封装膜弹性体的有机器件。
机译:利用薄膜转移技术制备薄膜体声波器件的方法
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