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黄建军; 林敏;
深圳大学理学院;
PZT微位移器; 驱动电源; 设计; 微位移器; 微机控制;
机译:硬盘驱动器Moonie PZT微致动器滑块驱动装置的设计和研究
机译:由PZT执行器驱动的XY硅微位移台性能的建模和实验验证
机译:台式驱动系统中微位移定位的实用反馈控制器设计
机译:PZT驱动的单自由度微位移挠性铰链机构设计
机译:用于硬盘驱动器的PZT驱动的硅悬架的设计和制造。
机译:平面外位移大的三自由度PZT薄膜致动微执行器
机译:表面微加工微引擎作为微机械齿轮的驱动器
机译:处理PZT元件的方法,PZT微致动器,磁头万向架组件和具有处理过的PZT微致动器的磁盘驱动单元
机译:用于控制微机械致动器的控制器,用于控制微机械致动器的控制系统,微镜系统和用于驱动微机械致动器的方法
机译:用于悬挂磁盘驱动器的多层剪切模式PZT微致动器和制造PZT微致动器的方法
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