用于协同定位PZT微致动器的悬架设计

摘要

公开了减少悬架舌刚性的微致动器和制造微致动器的方法。在一个实施例中，微致动器具有一个基片，从该基片伸出两支臂。用于臂的电接触垫位于在相对基片一端的臂的外部。在一个实施例中，电接触垫和读/写磁头电耦合到相同的连接板，减少了连接迹线的数量。