Gears; Microelectronic Circuits; Design; Friction; Lubrication; Operation; Optical Scanners; Scanning Electron Microscopy; Wear; Meetings;
机译:由片上静电微引擎驱动的表面微加工齿轮系
机译:单,双热臂不对称多晶硅表面微加工电热微执行器用于实现微引擎
机译:驱动负载的表面微机械微引擎寿命的频率依赖性
机译:表面微机械化微庚烷作为微机械齿轮的驱动器
机译:用于应力测量的微机械传感器以及用于MEMS应用的自支撑薄膜的微机械研究。
机译:更正:C.-E. Athanasiou。等。使用飞秒激光制造和操作的用于研究二氧化硅多晶型微力学的整体式微拉伸测试仪。微型机械201561365–1386
机译:连杆设计对表面微加工微动力驱动负荷可靠性的影响