基于PSD闭环控制的压电陶瓷微位移驱动电源

摘要

基于PSD闭环控制的压电陶瓷微位移驱动电源，它涉及压电陶瓷驱动电源。本实用新型的目的是为了解决现有的微位移驱动电源的精度差，可靠性不足的问题。本实用新型包括控制面板、单片机、压电陶瓷驱动器、压电陶瓷和微位移反馈装置，微位移反馈装置将压电陶瓷的输出端与单片机建立连接，其特征在于：微位移反馈装置包括PSD传感器、信号调理电路、光源、透镜和A/D转换模块，光源置于压电陶瓷上，光源的输出端通过透镜射入PSD传感器，PSD传感器的输出端通过依次串联的信号调理电路和A/D转换模块与单片机建立连接。本实用新型驱动精度高、驱动能力强、稳定性好、响应速度快。