Monte Carlo方法计算薄膜厚度测定背散射常数C(E_0)

摘要

应用蒙特卡罗方法模拟 5 ke V以下低能电子在 Al,Cu,Ag,Au薄膜中的散射 .模型应用 Mott散射截面和 Joy方法修正的 Bethe方程描述和计算低能电子在固体中弹性和非弹性散射 .计算了薄膜背散射系数η随薄膜厚度 D的变化 ,获得不同能量下的η～ D关系并给出相应线性区 Dmax分布 .分析了 η～D曲线初始线性区在低能时及随原子序数的变化 ,统计并应用最小二乘法计算得 E0 为 3,4,5 ke V下的背散射常数 C(E0 )以测定超薄膜厚度 .给出一个 E0 从几 ke V到几十 ke V能量范围计算背散射常数的经验公式 ,由此计算 Al,Cu,Au超薄膜、薄膜不同厚度时的η并与 Fitting,Cosslett的实验比较 。