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李四华; 刘玉菲; 高翔; 吴亚明;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
微机电系统; 扭转微镜面; 驱动器; 键合减薄;
机译:使用单个微反应器的有机电解合成系统的研制
机译:具有BLDC驱动器和微系统的智能平台,用于安全和监视领域的机电应用
机译:微流控芯片玻璃板微加工中微刃自动定位系统的研制
机译:使用MEMS驱动器通过机械限制对扭转微扫描仪进行共振频率调谐
机译:硅电容微传感器和静电微致动器的研究:朝着微机电系统(MEMS)迈进
机译:使用集成的微谐振波导扫描系统研制2D微透视
机译:具有BLDC驱动器的智能平台和安全性和监测中机电应用的微系统
机译:离子束溅射制造微槽和微线程工具;微机电系统学报
机译:微机械部件,基于微镜面的激光系统以及用于监视基于微镜面的激光系统的方法
机译:微机械零件,基于微镜面的激光系统以及用于监视基于微镜面的激光系统的方法
机译:包含机电微系统和封装该机电微系统的外壳的电子系统
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