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新型多晶硅薄膜热膨胀系数在线测试结构

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摘要

提出了一种新型多晶硅薄膜热膨胀系数的在线测试结构.给出了热电机械耦合模型和测试方法、结构参数设计的优化方案及误差分析,并利用ANSYS软件进行模拟.该结构测量方便,独立性较高,误差较小,用电学量形式输出,对于薄膜热膨胀系数的在线检测有较高的参考价值.

著录项

来源
《半导体学报》 |2005年第4期|840-845|共6页
作者
张宇星; 黄庆安; 李伟华;
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作者单位

东南大学MEMS教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类场效应器件;
关键词
MEMS; 多晶硅; 热膨胀系数; 在线检测;

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