精确模拟各类扩散结型器件纵向完整掺杂分布的归一化函数

摘要

本文用一组特征参数[N_O、m、λ、U_s(V_s)、A、S和 f]及所组成的归一化函数 N(u)或N(v)实现了对各类扩散结型器件纵向掺杂分布的统一完整精确适用的解析模拟.文中详述了模拟函数的性质与性能以及确定特征参数的方法,指出了该结果在器件理论研究与计算机模拟中的普遍适用性,还对良好的前景做了展望.