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梁中宁; 莫党; 卢殿通;
中山大学物理系;
北京师范大学低能核物理研究所;
椭偏光法; 离子注入; SOI结构; 硅;
机译:等离子体浸没离子注入氢化晶体硅的椭偏研究
机译:钴离子注入硅表面的光谱椭偏
机译:50 keV硅离子注入的PMMA的复折射率深度分布的椭偏特征
机译:光谱椭偏仪精确表征绝缘体上的硅(SOI)和绝缘体上的Si_(1_x)Ge_x(SSOI)上的应变硅
机译:通过角分辨X射线光电子能谱,零椭偏法和电容电压测量研究氧化物/硅界面的结构和电学性质
机译:自交联壳聚糖/藻酸盐的结构研究原位QCM-D和光谱法的二醛多层膜椭偏仪
机译:离子注入引起的特殊损伤分布通过光谱椭偏仪在结晶和弛豫(退火)非晶硅中确定
机译:光谱椭偏仪和X射线光电子能谱研究si离子注入生成的非晶硅的退火行为
机译:用于偏振调制的光学部件,包含这种光学部件的缪勒偏振计和椭偏仪,该椭偏仪的校准过程以及椭偏测量过程
机译:椭偏显微镜,用于二维椭偏和积分点椭偏
机译:实时查看正在进行椭偏研究的样品的系统
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