氮化镓缓冲层的物理性质

摘要

用金属有机物气相外延（ Ｍ Ｏ Ｖ Ｐ Ｅ）方法在蓝宝石衬底上生长了不同厚度和不同退火过程的氮化镓（ Ｇａ Ｎ）缓冲层，以及在缓冲层上继续生长了 Ｇａ Ｎ 外延层．研究了这些缓冲层的结晶学、表面形貌和光学性质以及这些性质对 Ｇａ Ｎ 外延层的影响． 提出了一个模型以解释用 Ｍ Ｏ Ｖ Ｐ Ｅ 方法在蓝宝石衬底上生长 Ｇａ Ｎ