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一种用于提取超大规模集成电路电容的新型库查找法

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提出了八种节点电容典型结构用以建立电容模型库,并阐明了这八种结构可以提取大多数VLSI互连线的电容参数,给出了这些结构的拟合公式.采用该库查找法计算的互连线电容结果与FastCap所得结果非常吻合.由于电容是直接代入拟合公式计算得到的,所以计算速度非常快.

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来源
《半导体学报》 |2007年第11期|1794-1802|共9页
作者
赵鹏; 张杰; 陈抗生; 王浩刚;
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作者单位

浙江大学信息与电子工程学系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类互连及多层布线技术;
关键词
库查找法; 多层; VLSI互连线; 互连线电容;

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