半连续金属膜在中断蒸镀后的电阻弛豫研究

摘要

在超高真空的环境中蒸镀半连续铌（Ｎｂ）膜和银（Ａｇ）膜，中断蒸镀后，立即原位测量样品电阻在１０ｍｉｎ内随时间的变化（弛豫现象）。发现Ｎｂ膜和Ａｇ膜分别表现出电阻升高和降低的不同行为，而且基底温度和膜厚对弛豫强度都有较大的影响。分析表明。