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After in pattern formation manner of metal evaporation formation, and with respect to the metal evaporation

机译:金属蒸镀形成后的图案形成方式,并相对于金属蒸镀

摘要

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wet etching method where a correct pattern shape and excellent dimensional precision can be obtained by increasing adhesion between a metal-deposited layer and a resist ink for wet etching.;SOLUTION: In the method for forming a pattern comprising the steps of: pattern-stacking resist ink for wet etching on a metal-deposited layer provided on a base material; thermally drying the resist ink; and forming a pattern composed of a metal-deposited layer by wet etching, the resist ink comprises a binder resin and a compound (A) having a specified fundamental skeleton.;COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
机译:解决的问题:提供一种湿法蚀刻方法,其中通过增加金属沉积层与用于湿法蚀刻的抗蚀剂油墨之间的粘附力,可以获得正确的图案形状和优异的尺寸精度。包括以下步骤:将用于湿法蚀刻的抗蚀剂油墨图案堆叠在设置在基材上的金属沉积层上;热干燥抗蚀剂油墨;并通过湿蚀刻形成由金属沉积层组成的图案,该抗蚀剂油墨包括粘合剂树脂和具有指定基本骨架的化合物(A)。;版权所有:(C)2007,JPO&INPIT

著录项

  • 公开/公告号JP5011952B2

    专利类型

  • 公开/公告日2012-08-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 東レ株式会社;

    申请/专利号JP20060290760

  • 发明设计人 森 健太郎;伊藤 喜代彦;

    申请日2006-10-26

  • 分类号C23F1/00;H05K3/06;G03F7/004;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 17:38:45

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