Nd_2O_3-SnO_2 薄膜气敏元件的研制

摘要

研究了Ｎｄ２Ｏ３－ＳｎＯ２复合薄膜气敏元件的制作工艺和敏感性能测量结果表明，这种元件对乙炔气体敏感，且具有选择性好。