Eu_2O_3—SnO_2薄膜气敏元件的研制

摘要

本文研究了 Eu_2O_3—SnO_2复合薄膜气敏元件的制作工艺和敏感性能。测量结果表明,这种元件对丙酮敏感,且具有选择性好,响应时间和恢复时间短等优点。