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金属诱导晶化法制备多晶硅薄膜研究进展

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本文介绍了金属诱导晶化非晶态硅制备多晶硅薄膜的新方法,综述了制备金属/非晶态硅复合薄膜的各种方法与晶化结果,着重介绍了金属低温诱导的机理及其在器件应用方面的可行性.

著录项

来源
《材料科学与工程学报》 |2002年第1期|81-83,63|共4页
作者
王瑞春; 沈鸽; 何智兵; 赵高凌; 张溪文; 翁文剑; 韩高荣; 杜丕一;
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作者单位

浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江杭州,310027;

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浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江杭州,310027;

浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江杭州,310027;

浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江杭州,310027;

浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江杭州,310027;

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正文语种 chi
中图分类材料;
关键词
金属诱导; 非晶硅; 多晶硅; 薄膜;

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