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多元合金化强化TiN复合镀层的研究进展

         

摘要

多元合金化是提高TiN镀层的有效途径之一,也是目前研究的热点.本研究综述了多元合金强化TiN复合镀层的最新进展,详述了Ti(CxN1-x),(Ti,Al)N,(Ti,Nb)N,Ti-Si-N,Ti-B-N,Ti-C3N4复合镀层的工艺、结构和性能,指出了今后TiN镀层的研究方向.

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