微波对n型硅半导体材料中PN结扩散的加速作用

摘要

用微波加热方法进行了硼—铝杂质在n型硅半导体材料中扩散PN结的试验。并与现行工业扩散的结果作了对比。从而发现,微波加热方法可以把扩散速度加快三倍以上。