薄膜沉积过程中TiO2的金红石相向锐钛矿相转变

摘要

用ＲＦ磁控放电方法以纯金属钛做靶材在氩氧混合气体中制备了ＴｉＯ２薄膜，Ｒａｍａｎ光谱测量表明，在２Ｐａ工作气压下制备的ＴｉＯ２薄膜为锐放结彩结构，而０．２Ｐ工作气压下制备的是金红石结构。工作气压的改变引起了ＴｉＯ２薄膜沉积中的相转变。