C^+离子注入对Al_2O_3单晶表面韧性的影响

摘要

对Ｃ＋注入α－Ａｌ２Ｏ３单晶样品的表面残余应力、显微硬度、断裂韧性和注入层破坏临界负荷等力学性能的变化进行了研究．结果表明：Ｃ＋离子注入Ａｌ２Ｏ３单晶时，表面层的破碎临界负荷增大．在１×１０１７Ｃ＋／ｃｍ２时表面产生的残余压缩应力达到最大，而更高剂量的注入使表面层产生非晶化，降低了表面的残余压缩应力．在５×１０１７Ｃ＋／ｃｍ２注入剂量时，由于表面残余压缩应力和表面非晶化的协同效应使注入层具有较高的表面韧性和表面层耐破碎临界负荷．