PECVD淀积工艺及室温NOx气体传感器

摘要

本文介绍了用PECVD技术淀积NOx敏感的工艺，并对典型工艺参数条件进行了讨论，我们淀积的这种NOx敏感膜，不仅在旁热情况下对NOx敏感，而且在室温条件下也能对NOx气体敏感，最后，我们对室温NOx气体传感器的一些重要性能指标进行了研究。