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吴尚池;
电子科技大学;
PECVD; 系统; 淀积; 氮化硅;
机译:催化化学汽相淀积法形成高湿掺杂掺杂扩散电阻率氮化硅膜
机译:使用分布式天线阵列PECVD系统在氮化硅衬底上低温沉积纳米晶金刚石膜
机译:低频PECVD工艺优化N掺杂TiO2多功能薄层
机译:在光纤端面上堆叠PECVD氮化硅纳米薄膜以实现折射率传感
机译:等离子增强化学气相沉积(PECVD)系统的设计和实现,该系统用于研究碳60聚合物复合薄膜和表面功能化对碳60的影响
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:通过溅射Cu在氮化硅中通过溅射Cu的相结构,耐腐蚀性和抗微生物响应及氮化硅PECVD
机译:远程微波pECVD生长氮化硅的体积和表面钝化
机译:使用硅化PECVD氮化硅作为介电抗反射涂层和硬掩模的系统和方法
机译:使用后PECVD沉积UV固化增加氮化硅膜拉伸应力的方法
机译:通过PECVD后UV固化提高氮化硅薄膜拉伸应力的方法。
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