等离子体基低能离子注入的光谱诊断

摘要

采用发射光谱（ＯＥＳ）技术系统地研究了电子回施共振（ＥＣＲ）微波等离子体基低能离子注入的等离子体特性。结果表明：纯氮气形成的等离子体中的活性粒子主要是Ｎ２＾＊和Ｎ２＾＊＊，等离子体中电子与气体分子碰撞使Ｎ２产生激发和电离，而使Ｎ２离解的作用很小；氮氩混合气形成的等离子体中，随着氩气分压的增加，Ｎ２＾＊和Ｎ２＾＊＊的浓度降低，同时氩气对氮分子离解的贡献很小；直接施加于试样的脉冲负偏压对等离子体特性没