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等离子体源低能离子注入的等离子体特性诊断

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等离子体源低能离子注入的等离子体特性诊断吴桂林雷明凯刘延伟马腾才（大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室１１６０２４）张仲麟（大连理工大学材料工程系１１６０２４）采用ＯＥＳ技术系统地研究了电子回旋共振（ＥＣＲ）微波等离子体源低能氮离子注入的等离子...

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来源
《大连理工大学学报》|1997年第S2期|P.30-30|共1页
作者
吴桂林; 雷明凯; 刘延伟; 马腾才; 张仲麟;
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作者单位

大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室;

大连理工大学材料工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类掺杂;
关键词
低能离子注入; 等离子体特性; 等离子体源; 大连理工大学; 国家自然科学基金; 电子回旋共振; 低能氮离子注入; 材料工程系; 脉冲负偏压; 微波等离子;
入库时间 2022-08-19 21:03:28

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