利用刻蚀工艺制备碲镉汞雪崩光电二极管

李浩; 林春; 周松敏; 王溪; 孙权志

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利用刻蚀工艺制备碲镉汞雪崩光电二极管

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碲镉汞雪崩光电二极管是第三代红外焦平面探测器的主要发展方向之一.提出一种利用离子束刻蚀工艺制备碲镉汞雪崩光电二极管器件的方法,并研究了截止波长、耗尽区厚度与器件增益的关系.利用此方法制备截止波长4.8 μm的中波器件在17 V反向偏置下增益可达1000.对器件进行了噪声频谱测试,计算了其过剩噪声因子.

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来源
《红外与毫米波学报》 |2019年第2期|223-227|共5页
作者
李浩; 林春; 周松敏; 王溪; 孙权志;
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作者单位

中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室;

上海200083;

中国科学院大学;

北京100049;

中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室;

上海200083;

中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室;

上海200083;

中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室;

上海200083;

中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室;

上海200083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类红外探测、红外探测器;
关键词
HgCdTe; 雪崩光电二极管; 离子束刻蚀; 增益; 过剩噪声因子;

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