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退火处理对氧化锌薄膜的特性影响

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摘要

用脉冲激光沉积法(PLD)制备氧化锌薄膜,600℃进行退火处理,分别从XRD衍射谱、原子力显微镜(AFM)照片及光致发光等方面对薄膜结构等进行研究并探讨退火处理对薄膜的影响.

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来源
《湖北科技学院学报》|2005年第6期|31-33,48|共4页
作者
刘晓花; 田臻锋;
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作者单位

郑州大学,河南,郑州,450052;

焦作师范高等专科学校,河南,焦作,454000;

郑州大学,河南,郑州,450052;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
ZnO薄膜; PLD; 退火处理;
入库时间 2023-07-24 20:51:22

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