毛细管放电EUVL光源演示装置

摘要

极紫外光刻(EUVL)技术能突破30 nm技术节点、可应用于大规模工业生产,是下一代光刻技术的核心之一.极紫外(EUV)光源是EUVL的源头,寻找可满足EUVL的合适光源是解决问题的关键,世界上许多发达国家都在积极探索EUVL光源的研究.属于4种气体放电方式之一的毛细管放电具有较高的能量转换效率,将毛细管放电装置应用于EUV光源研究存在很多优势.基于国家长期发展战略的需要和紧跟世界科技前沿的策略,我国建立了国内首台毛细管放电EUVL光源演示装置.经放电试验和测谱分析,装置可满足EUVL光源研究的需要.