物理气相沉积法制备Alq3纳米结构及其性能研究

摘要

Alq3材料在有机光电子器件领域具有重要的用途.本文采用物理气相沉积系统,通过设置不同的工艺参数在玻璃衬底上制备了Alq3薄膜.利用X射线衍射仪、电子扫描显微镜和光致发光光谱仪(PL)对Alq3薄膜的结构和性能进行表征分析.结果表明:通过物理气相沉积系统,调控沉积温度在玻璃衬底上成功制备出Alq3纳米球、纳米球链、纳米线、纳米管等Alq3的纳米结构,通过沉积温度与Alq3纳米结构及其性能的对应分析,实现了Alq3纳米薄膜的结构和性能的可控制备.