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机译:He / H2 / CH4 / N2混合物的微波等离子体化学气相沉积法沉积超光滑纳米结构金刚石(USND)涂层的合成及机械磨损研究
机译:用微波等离子体化学气相沉积沉积的超光滑纳米结构金刚石(USND)涂层与HE / H2 / CH4 / N2混合物的合成与机械磨损研究
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