TiNi形状记忆合金薄膜的表面形貌及影响

摘要

研究了ＴｉＮｉ形状记忆合金薄膜的表面形貌及其影响因素、试验结果证明：该薄膜的形成过程遵循形核、长大、迷津结构和连续膜４个阶段，镀时氩分压、基板温度、基板类型、基板的表面粗糙度以及膜的成分、镀后热处理等对薄膜的形貌有重大的影响。