SnO₂薄膜的化学气相淀积 Ⅰ.SnO₂薄膜的制备过程动力学

摘要

利用化学气相淀积方法,在载玻片上淀积二氧化锡薄膜,研究了过程的动力学特征,考察了不同操作参数对淀积速率的影响。建立了淀积速率与反应气体分压的关系式,并初步提出了淀积过程的反应原理。