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张健; 何奕骅; 许春芳;
上海华东师范大学电子工程系;
正硅酸乙酯; 等离子体; 氧化硅薄膜; 光谱分析;
机译:薄膜应力水平对PETEOS晶圆CMP抛光速率的影响
机译:由于PETEOS和SOG相互作用,在CMOS双金属工艺中产生了场反转
机译:用软X射线发射光谱分析液体锂后氮钛合金氮气分布分析
机译:与其他PECVD薄膜组合使用Peteos使用Peteos的亚微米CMOS SRAM的新型钝化过程
机译:温度和密度接近太阳导电/辐射区边界的温度下的埋层Fe L-壳发射光谱分析。
机译:发射光谱分析实时监测镍基激光熔覆层化学成分
机译:由于Peteos和Sog相互作用,CMOS双金属过程中产生的现场反演
机译:二次电子发射光谱分析金刚石
机译:通过在PETEOS膜中掺入氟来控制半导体器件的绝缘性能
机译:/ HSQ / PETEOS ILD堆栈上的HDP覆盖层或抛光层,以增强平面性和间隙填充
机译:Peteo Ningumashin斗篷
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