双层金属工艺中的IMD—PETEOS

摘要

本文讨论了ＰＥＴＥＯＳ在金属层间介质（ＩＭＤ）上的运用，并就其运用于亚微米ＣＭＯＳ、双层金属工艺中所要求的一些电、机械及结构方面的特性进行了探讨研究。